分析测试中心的聚焦离子束/扫描电镜已于2024年5月7日安装调试完毕，测试指标符合使用要求，后续将发布共享开放内容。

具体可登录分析测试中心网站（https://fxcs.buaa.edu.cn/）、大型仪器共享管理平台（https://igx.buaa.edu.cn/）或官方微信公众号（北京航空航天大学分析测试中心）了解仪器设备的性能指标、预约测试的服务指南等相关信息。技术咨询请联系：010-61715050。

聚焦离子束/扫描电镜

设备简介

聚焦离子束/扫描电镜可用于材料的刻蚀、沉积、截面切割等微纳加工操作。配备二次电子和背散射电子探测器，分别用于二次电子成像和背散射电子成像，在纳米尺度下表征样品的形貌和化学成分。配备EDS探测器，可进行样品表层化学元素的定性和定量分析。配备EBSD探测器，可对样品进行晶体取向、晶界、物相、微区应变、透射菊池花样衍射等晶体学分析。配备纳米机械手，可用于透射电镜样品制备。适用于材料、物理、化学、生物、地质、机械、电子等学科的样品。

安装地点：沙河校区科研三号楼B311-3

适用范围

1. 二次电子成像，背散射电子成像；

2. EDS点扫描、线扫描、面扫描；

3. EBSD、EBSD透射菊池花样衍射分析；

4. 微纳加工；

5. 三维重构；

6. 透射电镜样品制备。

参数

1. 分辨率：SEM分辨率1.7 nm@1 kV，0.9 nm@15 kV；FIB分辨率3 nm@30 kV，120 nm@1 kV&10 pA；

2. 加速电压：1 kV-30 kV;

3. 电子束流：5 pA-100 nA；

4. 探测器：Inlens、SE2、ESB、BSD1；

5. 样品台倾转角度-4°-70°；

6. 配备Pt气体注入系统

制样要求

1. SEM表征：

（1） 样品横向尺寸不超过50 mm×50 mm，高度不超过20 mm;

（2） 粉体样品需牢固地粘在导电胶上，进样前需用高纯氮气或洗耳球吹。

（3） 样品需干净、干燥、无强磁性、成分稳定；

（4） 检测块体和薄膜样品时，请注明测试面。

2. 三维重构：

（1） 导电性好；

（2） 满足其他SEM 样品的要求。

3. EBSD样品

（1） 透射菊池花样衍射分析（TKD）样品

i. 焊接在FIB专用载网上；

ii. 厚度在200-500 nm之间；

iii. 表面抛光（如果使用电解双喷法制备样品，需要保证厚度为200-500 nm的区域足够大）。

（2） 块体/薄膜样品

i. 表面抛光；

ii. 横向尺寸不超过10 mm×10 mm，厚度不超过5 mm；

iii. 满足其他SEM 样品的要求。

4. 透射电镜样品制备

（1） 样品横向尺寸不超过15 mm×15 mm，高度不超过20 mm;

（2） 样品表面尽量平整，即制样区域附近没有微米级的表面起伏；

（3） 满足其他SEM样品的要求；

（4） 备注：近期制样需自备FIB载网。

收费标准

备注：

1. 委托数据分析加收数据分析费用；

2. 委托制样的费用另行收费；

3. 协同测试由仪器管理员操作；

4. 不接受普通扫描观测，其他测试需求请与管理员联系。

所属平台

电镜检测中心聚焦国家重大需求的新材料研发，服务于学校“双一流”建设，以形貌、微结构、元素、化学成分、外场作用下的动态物理学过程的分析为基础，致力于建立材料结构与性能的关联，探索改善材料性能的新途径。检测中心现有2台高分辨透射电镜、6台扫描电镜、1台聚焦离子束电镜、4 套 TEM 原位样品杆以及全套电镜制样设备。检测中心面向校内外师生及研究人员提供检测分析、实验教学、技术指导等服务，研究涉及材料、物理、化学、生物、机械、生物、电子等多学科领域。检测中心可以完成的研究项目包括：(1) 利用先进的高分辨透射电镜技术，在亚原子尺度对材料的结构和化学成分展开分析；(2) 通过特殊的原位样品杆技术耦合热、气、电等外场，在原子尺度下实时观测材料的结构演变。检测中心将以微纳尺度分析为核心，打造样品制备、表征测试、结果分析全流程的服务体系，同时联合力学、化学等检测中心，实现跨尺度的材料结构、成分、性能检测分析，为学校多学院的科研和教学工作提供有力保障和支持，同时面向校外研究人员，创建开放共享的测试平台。