分析测试中心的高真空镀膜仪已于2024年5月9日安装调试完毕，测试指标符合使用要求，后续将发布共享开放内容。

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高真空镀膜仪

设备简介

高真空镀膜仪可用于扫描电镜样品制备，通过离子溅射或蒸镀，在不导电的扫描电镜样品表面沉积一层均匀的C/Pt膜，以减轻荷电现象。

安装地点：沙河校区科研三号楼B311-1

适用范围

1. 碳沉积。

2. 铂沉积

参数

1. 真空度≤2×10^-6 mbar;

2. 内置石英膜厚检测器，准确控制膜厚，精度达0.1 nm;

3. 溅射电流：0-150 mA可调;

4. 样品仓尺寸：200 mm（宽）×150 mm（深）×195 mm（高）;

5. 样品台内置旋转，工作距离调节范围：30-100 mm。

收费标准

备注：

1. 特殊样品制备根据制样时长及制样难度进行计费。

所属平台

电镜检测中心聚焦国家重大需求的新材料研发，服务于学校“双一流”建设，以形貌、微结构、元素、化学成分、外场作用下的动态物理学过程的分析为基础，致力于建立材料结构与性能的关联，探索改善材料性能的新途径。检测中心现有2台高分辨透射电镜、6台扫描电镜、1台聚焦离子束电镜、4 套 TEM 原位样品杆以及全套电镜制样设备。检测中心面向校内外师生及研究人员提供检测分析、实验教学、技术指导等服务，研究涉及材料、物理、化学、生物、机械、生物、电子等多学科领域。检测中心可以完成的研究项目包括：(1) 利用先进的高分辨透射电镜技术，在亚原子尺度对材料的结构和化学成分展开分析；(2) 通过特殊的原位样品杆技术耦合热、气、电等外场，在原子尺度下实时观测材料的结构演变。检测中心将以微纳尺度分析为核心，打造样品制备、表征测试、结果分析全流程的服务体系，同时联合力学、化学等检测中心，实现跨尺度的材料结构、成分、性能检测分析，为学校多学院的科研和教学工作提供有力保障和支持，同时面向校外研究人员，创建开放共享的测试平台。