为进一步提升电镜设备的保障能力与检测质量，近期，分析测试中心会同国仪量子对普通场发射扫描电镜通过加装主动减震系统进行升级，升级后的“新镜像”将为广大师生用户提供更加可靠、高效的测试体验。

主动减震设备通过配备振动检测传感器能够实时监测设备周围的振动情况。设备上的控制单元通过驱动装置产生与振动方向相反的力量，以此抵消外部振动的影响。主动减震设备能够根据环境变化进行实时调整，确保设备始终处于最佳的工作状态。特别是对于扫描电镜，在主动减震设备的作用下能够进一步增强成像质量、提高获取图像效率以及复杂环境适应性。同时，为方便同学们预约使用，自2024年10月28日起至2024年11月28日（每周一至周四上午8：30-12：00，下午 2：00-5：30 期间），该设备对全部同学开放免培训机时预约，分析测试中心配备一名专职设备管理员全程协助同学们上机操作，使用机时大于5小时并考核合格的同学可免除上机培训，开放自主上机权限，可直接上机操作。

左图（安装主动减震前）、右图（安装主动减震后）

30万倍下观测金属氧化物颗粒，噪声背景从8 nm减小至4 nm

设备介绍：

技术参数

•二次电子分辨率：1.0 nm@15 kV, SE; 1.5 nm@1 kV, SE

•加速电压：0.02-30 kV

•探测器：背散射电子探测器 、二次电子探测器、Inlens、EDS

2.样品要求

•样品不含有机物、高分子等在电子束照射下易分解的成分、不含有水份

•样品高度不超过 40 mm 样品直径不超过 45 mm

3.生产厂家： 国仪量子

4.产品型号： SEM5000

仪器收费标准：

自主上机

普通形貌观测：150/h

普通形貌观测+元素Mapping（EDS）：210/h

二次电子图像

EDS元素面分布图像