分析测试中心的超高分辨场发射扫描电子显微镜已于2024年4月23日安装调试完毕，测试指标符合使用要求，后续将发布共享开放内容。

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超高分辨场发射扫描电子显微镜

设备简介

超高分辨场发射扫描电子显微镜具有大束流和高稳定性的特点，其中，全新设计的超级混合型物镜，可以实现超高分辨成像和对磁性样品的直接表征。配备二次电子和背散射电子探测器，分别用于二次电子成像和背散射电子成像，在纳米尺度下表征样品的形貌和化学成分。配备EDS探测器，可进行样品表层化学元素的定性和定量分析。配备EBSD探测器，可对样品进行晶体取向、晶界、物相、微区应变、透射菊池花样衍射等晶体学分析。适用于材料、物理、化学、生物、地质、机械、电子等学科的样品。

安装地点：沙河校区科研三号楼B311-8

适用范围

1. 二次电子成像

2. 背散射电子成像

3. EDS点扫描、线扫描、面扫描

4. EBSD、EBSD透射菊池花样衍射分析

参数

1. 分辨率0.5 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV；

2. 探测器：SED、UED、UHD、BED-C、EDS、EBSD

3. 加速电压0.5-30 kV

4. 光阑尺寸0-100 μm

5. 样品台倾斜角度-5°-70°，旋转角度360°

制样要求

1. SEM样品：

（1） 样品横向尺寸不超过50 mm×50 mm，高度不超过20 mm;

（2） 粉体样品需牢固地粘在导电胶上，进样前需用高纯氮气或洗耳球吹。

（3） 样品需干净、干燥、无强磁性、成分稳定；

（4） 检测块体和薄膜样品时，请注明测试面。

2. EBSD样品

（1） 透射菊池花样衍射分析（TKD）样品

i. 焊接在FIB专用载网上；

ii. 厚度在200-500 nm之间；

iii. 表面抛光（如果使用电解双喷法制备样品，需要保证厚度为200-500 nm的区域足够大）。

（2） 块体/薄膜样品

i. 表面抛光；

ii. 横向尺寸不超过10 mm×10 mm，厚度不超过5 mm；

iii. 满足其他SEM 样品的要求。

收费标准

1. 能谱扫描、EBSD在电镜收费基础上另行收费。

2. 含Fe 、Co 、Ni 、Mn等磁性样品根据样品情况确定收费。

3. 委托数据分析加收数据分析费用。

4. 委托制样费用另计参考制样收费。

所属平台

电镜检测中心聚焦国家重大需求的新材料研发，服务于学校“双一流”建设，以形貌、微结构、元素、化学成分、外场作用下的动态物理学过程的分析为基础，致力于建立材料结构与性能的关联，探索改善材料性能的新途径。检测中心现有2台高分辨透射电镜、6台扫描电镜、1台聚焦离子束电镜、4 套 TEM 原位样品杆以及全套电镜制样设备。检测中心面向校内外师生及研究人员提供检测分析、实验教学、技术指导等服务，研究涉及材料、物理、化学、生物、机械、生物、电子等多学科领域。检测中心可以完成的研究项目包括：(1) 利用先进的高分辨透射电镜技术，在亚原子尺度对材料的结构和化学成分展开分析；(2) 通过特殊的原位样品杆技术耦合热、气、电等外场，在原子尺度下实时观测材料的结构演变。检测中心将以微纳尺度分析为核心，打造样品制备、表征测试、结果分析全流程的服务体系，同时联合力学、化学等检测中心，实现跨尺度的材料结构、成分、性能检测分析，为学校多学院的科研和教学工作提供有力保障和支持，同时面向校外研究人员，创建开放共享的测试平台。