分析测试中心协同测试平台的离子束-电子束双束扫描电镜已开放预约。

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离子束-电子束双束扫描电镜

设备简介

离子束-电子束双束扫描电镜能够进行样品表面的高分辨成像、化学元素浓度与分布测量、晶体学取向测量、样品截面制备、透射电镜薄片样品制备、微纳力学测试样品制备。

安装地点：沙河校区主楼C座104

适用范围：

1. 二次电子成像

2. 背散射电子成像

3. 表面化学成分分布测量（EDS）

4. 晶体取向分布测量

5. 聚焦离子束加工：截面加工，透射电镜薄片样品（lamella）制备、微纳力学测试样品（如用于微柱压缩测试）制备。

参数：

1. 场发射电子枪灯丝，15 kV时二次电子分辨率为0.9 nm。

2. Ga聚焦离子束，30 kV时分辨率优于2.5 nm，束流范围为10 pA~100 nA。

3. 常规探测器：SE探测器，BSE探测器，EDS探测器。

4. HR-EBSD探测器：高解析率下采集速度由于400点/秒，最小采集步长200 nm。

5. 纳米机械手。

6. Pt气体注入与沉积系统。

收费标准

*任何测试或加工项目开始前，需提前告知操作员样品类型、尺寸、夹持状态等特征。

所属平台

物理性能表征检测中心主要研究材料的基本性质，包括材料的原子结构、化学价态、微观结构、电学性能、磁学性能和热学性能。检测中心拥有高通量X射线衍射仪、桌面式X射线吸收精细结构谱仪、无损亚微米X射线分析仪、绝热综合测试系统、激光杨氏模量测系统、极低温电效应通用系统、色谱-红外联用广谱条件气液原位检测系统、微纳米粒子PVDF薄膜速度计量仪、超高真空等离子体晶体测试设备等仪器。检测中心的高通量XRD不仅可以实现多样品连续自动测量，更可以实现定性定量分析、薄膜略入射GID分析、薄膜反射率XRR分析，同时还可以进行点光源对材料的织构、应力、微区进行测量；X射线吸收精细结构光谱（XAFS）可以获得材料的核心原子的价态、能级结构、配位键类型与键长、配位原子种类及数量；无损亚微米X射线衍射分析仪可实现在无损情况下对大样品高分辨率成像、内部断层成像、相位衬度成像、4D和高分辨原位成像、绝热综合测试系统可实现±14 T磁场下，2-325 K温度区间内的磁学测量、电学测量、热膨胀测量。检测中心提供专业的分析测试、实验教学、技术指导等多样化服务，同时面向社会开放，致力于服务涵盖物理、化学、材料、力学、机械、生物、医药、矿物、电子等学科。