离子抛光技术通常采用惰性气体氩，通过将氩气离子化后，在电场加速作用下轰击到样品表面，利用动量转移的方式进行可控速率条件下，物理溅射轰击的方式对样品表面进行精细抛光处理，满足扫描电镜/EBSD等表面敏感分析技术制样需求。氩离子抛光仪能够在最短时间内解决各类扫描电镜制样困难材料的制样问题，同时具备紧凑、精确以及高稳定性的优点。