分析测试中心的场发射扫描电子显微镜已于2024年3月12日安装调试完毕，测试指标符合使用要求，后续将发布共享开放内容。

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场发射扫描电子显微镜

设备简介

场发射扫描电子显微镜拥有高品质成像和先进分析功能，可实现二次电子成像、背散射电子成像，主要用于对样品表面的微观结构进行超高分辨的成像和表征，配合能谱仪还能够对样品表面的元素进行定性和定量分析。可直接观察不导电样品和磁性样品。在高分辨率成像方面精益求精，配合不同探测器的选择，可实现在1 kV或更低电压下获得更佳的分辨率和对比度。适用于金属、陶瓷、聚合物、复合材料、纳米材料、半导体结构和器件、生物等材料，在金属材料、航空航天、新能源、生物医用材料、仿生科学、机械制造、电子半导体、生命科学、石油地质、考古、深海等领域都有广泛的应用。

安装地点：沙河校区四号楼B311

适用范围：

1. 二次电子成像

2. 背散射电子成像

参数：

1. 探测器：SE2探测器、Inlens探测器、BSD探测器

2. 加速电压：0.02-30 kV

3. 放大倍数：10-1000000X

4. 二次电子成像分辨率：0.9 nm@15 kV，1.3 nm@1 kV

收费标准

所属平台

电镜分室聚焦国家重大需求的新材料研发，服务于学校“双一流”建设，以形貌、微结构、元素、化学成分、外场作用下的动态物理学过程的分析为基础，致力于建立材料结构与性能的关联，探索改善材料性能的新途径。分室现有2台高分辨透射电镜、6台扫描电镜、1台聚焦离子束电镜、4 套 TEM 原位样品杆以及全套电镜制样设备。分室面向校内外师生及研究人员提供检测分析、实验教学、技术指导等服务，研究涉及材料、物理、化学、生物、机械、生物、电子等多学科领域。分室可以完成的研究项目包括：(1) 利用先进的高分辨透射电镜技术，在亚原子尺度对材料的结构和化学成分展开分析；(2) 通过特殊的原位样品杆技术耦合热、气、电等外场，在原子尺度下实时观测材料的结构演变。分室将以微纳尺度分析为核心，打造样品制备、表征测试、结果分析全流程的服务体系，同时联合力学、化学等分室，实现跨尺度的材料结构、成分、性能检测分析，为学校多学院的科研和教学工作提供有力保障和支持，同时面向校外研究人员，创建开放共享的测试平台。