设备简介：（透射电镜气体原位样品杆）通过MEMS芯片和光纤引入的光源在原位样品台内构建热复合多场自动控制及反馈测量系统。该系统能够在透射电镜TEM）内为样品提供气氛环境下实现加热条件下高分辨微观结构观察。以直接揭示样品结构与其气固界面反应性质之间的实验关系。

参数：

加热方式：两电极MEMS加热；

加热温度范围：室温—1000 ℃

气体流速可控： 0-1mL/Min，最小气体流速≤5nL/s。

压力范围： 0-1000 mba；

EDX探测器温度：室温-900℃；

功能：

1. 芯片式设计，提供多种窗口薄膜厚度，可选择种类不少于 10nm、20nm、30nm；

2. 多级复合加热微电路芯片设计可控制加热过程热扩散，能实现原子分辨成像；

3. MEMS芯片内部的加热丝是被SiN包裹的高稳定性贵金属材料（如Pt），非陶瓷材料。不与样品发生反应；

4. 混合气路管道：不少于 3路；气体种类：至少包括一氧化碳（CO）、乙炔（C2H2/C2H4）、甲烷 （CH4）、氧气（O2），二氧化碳（CO2）、氢气（H2），氦气（He），氩气（Ar），氮气（N2），空气等；

5. 通过程序控温软件实现温度信号的高频率输出、接收、反馈、调节，进行程序升温降温。具有绝对温标校准程序，对每一块芯片进行真实环境下的温度曲线矫正；

6. 可搭配气体分析质谱仪，气路系统包含搭配透射电镜使用的分流阀门与管路，可以在不影响响应速度或反应动力学的情况下，调整气体分析仪中的压力。可对微量气体 (<100μl)进行实时采样并进行在线气体分析。